A100L/LES – 干泵的世界很美

• 极限真空：7×10-4mbar （LES）
• 抽速100m3/h ( 28L/S)
• 被证实的平均故障间隔 195 000 hrs
• 特殊的密封结构，漏率＜5×10-7mbar.l/s
• 体积紧凑小巧
• 噪音极低（低于55dB)，振动极小
• 具有多级罗茨干泵的其他优点

A100L/A200L是紧凑型干泵

用于洁净制程的整体式干泵
具有紧凑结构的洁净制程整体式干泵是专为满足半导体生产设施中的灵活弹性集成要求而开发的。为了在方便在机台内直接安装和快速抽空的设计要求，用于洁净制程的该系列紧凑型泵是装载互锁、传输室以及其他非腐蚀性应用的完美解决方案。

针对高气流量应用的全新解决方案
普发真空推向市场的用于高气流量应用的全新 200 m³/h 级别产品 A 200 L，再次展示出了其在整体式干泵市场中全球领导地位。凭借着 100 m³/h 级别产品 A 100 L 和 200 m³/h 级别产品 A 200 L，普发真空为一切洁净制程应用提供完整的产品种类。

引领行业的整体式干泵
自从 A 100 L 泵问市以来，它彻底改变了半导体行业生产设施中泵的集成问题。基于干式多级罗茨泵技术，尽管尺寸小，整体式干泵依然提供了高抽速和短抽空时间的特点。如今，整体式洁净制程的干泵泵是最先进的，且 A100 系列在全世界范围内很多 300 mm 半导体工厂内进行了安装。

用于装载互锁和传输室的整体式干泵
在诸如装载互锁和传输室等洁净制程应用中，这些泵排除了泵安装中的真空管路影响。通过使用整体式干泵，可降低真空管路安装、集成和调试的成本。该泵在生产过程中提供可持续的杰出性能且具有高效节能的特点。高可靠性和长期稳定性使该泵脱颖而出。

整体式干泵——不仅仅用于半导体行业
该泵能提供干燥和无尘的洁净真空，整体式干泵也为太阳能光电设备提供最佳解决方案。低噪音和低振动是该水冷却系列的另一优势。小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性。