远程等离子体源 Remote Plasma Source

反应气体发生器

ASTRON®系列远程等离子体源 基于NF₃等含氟气体电离，产生活性气体，广泛地应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功率大，效率高等特点。产品有：

• ASTRON®Paragon AX7700 (6升)，新一代远程等离子体源
• ASTRON®ex AX7685 (6升)
• ASTRON®hf-s AX7645 (15升，分体式)
• ASTRON®hf AX7640 (15升)
• ASTRON®hf+ AX7635 (22升)
• ASTRON®G7 AX7667 (30升)

等离子体电源用于晶圆工艺

ASTeX®远程等离子体源 适用于O₂、N₂、H₂、H₂O等气体，广泛应用于CVD，ETCH，去胶等晶圆工艺。

• R*evolution® III AX7695 集成远程等离子体源用于晶圆工艺
• ASTeX® AX7610 下游等离子体源