QMS系列材料放气分析系统
QMS材料放气率测试系统是为了实现对特定材料/产品在特定环境下的放气速率测试而开发的产品。
例如:
对空间科学载荷仪器中电子元器件、电路板材料、运动部件润滑材料以及其他结构性材料在超高真空环境中的材料放气率进行测试,主要用于保证载荷有效运行,减少器件和材料放气累积对如光学系统的污染。
对半导体器件、光刻胶等在特定环境下的放气率测试,用于工艺开发、产品质量评估等。
依据样品尺度、真空度/温度、测试气体质量数等要求,QMS具有一系列对应产品,亦可以对操作软件进行一定程度的定制。