过程及工艺监测质谱仪HPA/SPM220

HPA220是一款高压质谱仪，其进样压力范围从真空到50mbar.    

- HPA220具有多个数字量或者模拟量通讯接口

- 结构紧凑，非常易于集成

- 通过一台PC机即可方便的操作

技术参数：

质量数（可选）:1-100amu, 1-200amu,1-300amu

最小检测极限:1X10^-14 hPa

进样压力（可选）：1mbar, 8mbar, 50mbar

重量：15Kg

SPM 220是专为镀膜工艺过程中的气体监测设计研发的

SPM 220 优势：
镀膜工艺监测器离子源，适用于瞬时过程监测
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
对测量结果的最小化背景影响
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计，易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出

技术参数：

质量数（可选）:1-100amu, 1-200amu

检测极限（氩中）：二氧化碳< 100 ppb

检测极限（氩中）：氧气< 100 ppb

检测极限（氩中）：水蒸气< 500 ppb or < 6000 ppb

进样压力（可选）：1mbar, 8mbar, 10mbar

重量：13Kg