CombLine罗茨泵机组 - 干式、油式的多级罗茨泵机组

罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。
干式罗茨泵站是面向高要求工艺（例如半导体行业）的一流解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺，例如装载互锁应用，或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术最大吞吐量和显示面板制造，我们都可以提供解决方案。

将传统罗茨泵与油润滑旋片泵相结合。这些泵组提供良好的真空度，同时有较高的抽速。将旋片泵与罗茨泵结合以获得泵组，这种方式可谓经典解决方案，可以实现真空室的快速排空和中高真空下的工艺气流传输。对于许多行业工艺而言，使用油封前级泵仍然是最好的选择，因为就购买价格以及产品生命周期成本而言，它代表了最耐用和最具成本效益的解决方案。